SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯的使用：

SPPL系列CMP漿液過濾聚丙烯折疊濾芯在微電子器件的化學(xué)機(jī)械拋光中,始終為需要拋光的工件提供均勻的拋光漿料，以優(yōu)化晶片的整體平面化，提高晶片質(zhì)量。獨特的熔噴材料形成等級分布顆粒物的效果，尤其適合氧化鋁和氧化硅拋光漿料的過濾。

該濾芯材料在空間形成三維微孔結(jié)構(gòu)，微孔孔徑沿濾液方向呈梯度分布，可以截留不同粒徑，孔徑范圍完全匹配CMP氧化物拋光漿料和金屬物拋光漿料的粒徑，不僅提高了過濾效率，而且解決了濾芯易阻塞的問題，延長了濾芯的使用壽命。